WASCO开关UC9 系列产品介绍
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发布时间：2024-08-27 17:10:24
Wasco的UC9系列开关是一种专为低压应用设计的超高纯度和耐腐蚀开关。
UC9系列开关的额定应用周期超过2,000,000次，并提供满足或超过SEMI F20 UHP要求的可用材料选项。根据SEMI F1标准，所有开关均经过氦气泄漏测试。此外，UC9系列开关的内表面光洁度达到了5Ra，进一步增强了其耐腐蚀性和防泄漏性能。
性能特点：
高精度：具有高的精度和非常小的公差，能够准确地检测和控制压力。
长寿命：额定应用周期超过 200 万次，适用于长期稳定的工作环境。
符合行业标准：材料选择满足或超过 SEMI F20 UHP 要求，并且所有开关都经过氦泄漏测试，达到≤1x10-9 标准立方厘米 / 秒，符合半导体行业等对高纯度和低泄漏的严格要求。
产品参数
激活点范围：20 至 200 Torr（压力abs)
复位带：10 Torr + 启动点的 6 %（典型值）
激活点公差：+/- 5 Torr +2 %激活点（典型值）
耐压：100 PSIG
爆破压力：1000 PSIG Min
工艺接口：316L SS
符合标准：SEMI F20 UHP
工作温度：-20 至 60 ℃(-4至 140 °F)
非工作温度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）
预期寿命：≥ 1,000,000 次 95B2（视应用而定）
防护等级：IP 67（Abs配置）
泄漏率：氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
Max额定电流：1 A
交流/直流电压：115/ 28 V
应用领域：气箱、IGS 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统等。
津公网安备12010102000950号