摘要
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
建模任务
观测倾斜平面
观测柱面
观测球面
走进VirtualLab Fusion
VirtualLab Fusion的工作流程
设置输入场
- 基本光源模型
使用表面构造真实元件
定义元件的位置和方向
- LPD II:位置和方向
为非序列场追迹设置合适的通道
- 非序列场追迹的频道设置
VirtualLab Fusion技术
文件信息
(来源:网络,版权归原作者)