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直接驱动，无槽，无刷伺服电机
零齿槽电机，出色的速度稳定性
出色的误差运动和摆动性能
直联式高精度旋转编码器
薄型平面设计
没有机械接触
Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位，速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查，高精度计量，X射线衍射系统，光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。
紧凑包装
ABRS系列直接驱动旋转平台的设计已经过优化，可大程度地减少平台高度。平台的低矮外形降低了系统的有效工作高度，从而减少了与“堆积”有关的错误。除了较低的总高度外，ABRS系列还提供了一个通孔，可用于产品直通，激光束传输，电缆间隙或特定应用的要求。
机械设计
ABRS设计具有大的空气轴承表面，具有很高的刚度和承载能力，不仅产生出色的轴向和径向误差运动，而且产生出色的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴，极大地受益于需要出色平面性能的应用。
无刷直驱
为了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计，可产生高扭矩输出，而产生的热量最少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。
准确定位
光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时，分辨率可达到<0.03弧秒。
定制设计
定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。
宽度：150 mm
桌面直径：128.1 mm
高度：80 mm
孔径：8 mm
总行程：360°连续
总线电压：80 VDC
基本编码器分辨率：3600行/转
转速：max.300 rpm
精度：±3角秒
双向重复性：<2弧秒
负荷
轴向：8 kg
径向：4 kg
倾斜：3 N-m
轴向误差运动（同步）：<175 nm
径向误差运动（同步）：<450 nm
倾斜误差运动（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）
轴向误差运动（异步）：<20 nm
径向误差运动（异步）：<20 nm
倾斜误差运动（异步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）
工作压力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）
空气消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）
材料：铝
表面：硬涂层（62洛氏硬度）
惯性卸载：3850 kg-mm2
总质量：4.8公斤
津公网安备12010102000950号