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快速准确的双面扫描系统
测量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移动300 mm（200 mm），横向分辨率为50 nm，电动z轴分辨率为20 nm
2D轮廓，3D地形图和3D厚度图
扫描范围大
x，y，z分辨率，行程为max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光传感器
高分辨率离轴相机
CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪，具有300毫米x，y扫描台。顶部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x，y编码器信号同步的高度数据，并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从顶部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图，并计算相应的总厚度轮廓或贴图。
运动系统使用快速，准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器，可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板，该系统可以用作标准光学表面轮廓仪，使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。
集成系统控制器：包括运动控制，传感器控制器（4 kHz），电源，工作站的USB接口
工作站电脑：查询当前规格，22英寸宽屏显示器
连接方式：以太网，DVD驱动器，USB（正面和背面），并行端口，键盘，鼠标，DVI和模拟视频输出
电源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
测量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
线性编码器分辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
横向分辨率：1微米（载物台分辨率：50 nm）
X和Y的行程限制（电动）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制（电动）：100 mm (4 in)
平台上的负载：max.10 kg
可用的传感器：共焦白光传感器
工作温度：18°-20°C（64°F – 68°F）
尺寸（长X宽X高）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（约43 x 51 x 56 [in]）
重量：650 kg (1.433 lbs)
津公网安备12010102000950号