产品中心
产品介绍
无损成像将时间分辨研究带入了纳米长度尺度
独特的地形表面成像能力（生物，半导体，量子）
一根或多根带有根据您的要求配置的终端站的光束线
自组装材料中纳米级有序衍射
用于评估机械和薄膜特性的结构泵探头，以了解弹性响应，热传递和声子模式
磁性系统的高分辨率，革命性的测量对不同的磁性层高度敏感
KMLabs QM 量子显微镜的光子成像解决方案是一个完全集成的商业化平台，可实现EUV范围内的超快速光谱和纳米级的高对比度，近地表到地下成像。它可以对成分和结构进行基于实验室的2D高对比度成像，研究图案化薄膜的机械性能，深入了解材料性能，以及自旋电子，ALD，2D，低密度轻质，能源，空间和光伏材料的功能表征。
通过将飞秒激光器的时间敏感性与EUV显微镜和衍射的空间分辨率相结合，QM使得一系列技术可针对研究和工业中的重要挑战进行调整。例如，对于电池，锂边缘附近的EUV吸收提供了微观和光谱上丰富的区域，以了解锂键合。对于半导体，QM提供了独特的对键合敏感的掩埋和表面纳米形貌的关键细节。QM 量子显微镜完全可配置，包括激光源（EUV和/或VUV），放大器，根据用户实验量身定制的光束线以及可有效覆盖纳米/量子材料的显微镜/光谱学领域的成像或其他分析工作站。
产品参数
集成的高性能超快EUV激光源
高分辨率干涉测量表面和亚表面成像
x/y空间分辨率小于20 nm
具有可配置终端站的多用途束线
泵浦探头（XUV泵浦/ IR探头）设计
可扩展至VUV（60-150 nm或8.3至20.7 eV）
津公网安备12010102000950号