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optec激光微加工系统MicroMaster

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  • 品牌名称:optec
  • 规格型号:MicroMaster
产品介绍

MicroMaster是业内通用,先进的交钥匙准分子激光微加工系统,用于研发到生产应用。Optec的MicroMaster可以配备新的独立、紧凑、短脉冲长度(~6 ns)的深紫外准分子激光器或大幅面(外部)准分子激光器,具体取决于您的应用和吞吐量需求。通过掩模投影技术,可以进行微米(μm)级的微加工。MicroMaster 的功能和实用性示例包括从 0.25 – 10J/Cm² 连续可变的密度,以适应正在加工的材料,以及我们新的“智能孔径”选项,该选项将圆形和三角形等固定掩模与连续可变、软件控制的电动孔径相结合,创造出无限的消融形状和尺寸组合。

性能特点
  • 可靠性
技术参数
  • 产地:比利时
  • 是否进口:是
  • 波长:193或248nm
  • 重复频率:200 Hz
  • 能量密度:0.05至10 J/cm2
  • 特征尺寸:从5um到2mm
  • 紫外线分辨率:1.5um
  • 行程范围:300x300mm
  • 焦距:50mm
  • 外形尺寸(高x宽x深):1880x1010x1750mm
产品参数

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