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产品介绍
Model 6810高分辨率电容式传感器为位置和位移测量提供了高性能。6810专为高速旋转或振荡目标的“高动态”测量而设计，如硬盘驱动器主轴电机、空气轴承主轴和机械轴承机床主轴。应用包括跳动测量，如轴向和径向NRRO（不可重复的跳动或非同步误差运动），其需要1至2 nm rms或更好的分辨率。
性能特点
- 先进的低噪声设计提供亚纳米级的测量分辨率
- 电容式位移测量
- 传感-目标材料或反射率对测量精度没有影响
- 高测量带宽，从1 kHz到100 kHz，适用于“高动态”应用
- 完全非接触式设计
- 高分辨率，低至亚纳米级（在50微米的测量范围内，5kHz时为0.25纳米rms）
- 用户可选择的测量带宽（1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz）
- 测量范围从20微米到几毫米
- 行业标准±10伏模拟输出
- 经过认证的、NIST可追溯的校准精度（每个装置都提供校准证书）
- 非常紧凑，包括MicroSense隔离低噪声电源
- 提供3U欧洲卡格式
- 与MicroSense的6000系列传感器兼容，有多种尺寸可供选择
技术参数
产地：美国
标准测量范围：±25µm、±50µm、±100µm、250µm、500µm、750µm
（校准范围取决于传感器尺寸）
模拟输出：±10伏满量程、单端和差分（选项±5伏、0–10伏）
传感器输入：MicroSense 6000系列探头和传感器
测量带宽（@-3dB）：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz（跳线可选）
满量程范围内的线性度：0.25%
稳定性：200 ppm/˚C
目标材料：任何导电材料（也可提供玻璃或陶瓷等非导电材料的传感器）
超范围检测：TTL输出和前面板LED指示
前面板调整：比例系数、零偏移、限制设置
工作环境（温度）：0至50˚-C
工作湿度：<85%RH，非冷凝
电源要求：90至240 VAC，50/60 Hz
尺寸：175毫米（长）x 110毫米（宽）x 40毫米（高）
重量：0.5kg，电源0.8kg
产品参数
津公网安备12010102000950号