Breva 设计用于定位重达 200 kg 的负载,分辨率为 0.5 µm。
这种中型六足位移台非常适合研发应用以及在机床和观察系统下定位样品,例如在同步加速器光束线上。
Breva 六足位移台可用于所有方向:垂直、水平、底部移动板。
■ 有效负载容量高达200 kg
■ 线性行程范围±75 mm
■ 角行程范围±22°
◆行程范围Tx,Ty(mm):±75
◆行程范围Tz(mm):±50
◆行程范围Rx,Ry(度):±20
◆行程范围Rz(度):±22
◆分辨率Tx、Ty、Tz(µm):0.5
◆分辨率Rx、Ry、Rz(µrad):2.5
◆重复性Tx、Ty、Tz(µm):±0.5
◆重复性Rx、Ry、Rz(µrad):±2.5
◆速度Tx,Ty(mm/s):6
◆速度Tz(mm/s):4
◆速度Rx,Ry(度/秒):1.5
◆速度Rz(度/秒):2.25
◆刚度 X, Y (N/µm):5个
◆刚度 Z (N/µm):32
◆ 有效负载能力(kg)(垂直方向/水平方向):200 / 80
◆ 电机类型:步进电机、减速机
◆控制器类型:ALPHA+
◆接口:以太网
◆电源:110-240 VAC/50-60 Hz
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■ 光学
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■ 航空航天
■ 计量学
■ 同步加速器