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产品介绍
Reflection DHM 是反射配置的全息显微镜。它们是测量全反射和部分反射物体的理想选择。它们能够处理低反射界面（反射率低至1%以下），是对各种样品进行准确光学形貌测量的理想仪器。
性能特点
- 高采集率和易用性
- 实现快速常规检查、自动化工业质量控制以及创新的研发应用，尤其是动态观测
- DHM与可选的频闪模块和用于MEMS分析和反射率分析的后分析软件兼容
- 每个DHM都可以用自己的结构来固定，或者只作为一个头，安装在其他结构或生产线上
- DHM可与多种可选的电动载物台兼容
- 它有能力和灵活性为您提供定制和OEM系统
选型指南
有三种可用配置，由波长的数量和组合定义：
R-1000系列：单激光源
R-2100系列：双激光源
R-2200系列：三个激光源
技术参数
产品：瑞士
配置：单激光源
特异性：单波长
测量模式：单波长
分辨率：亚纳米
测量：实时
精度（通过在30次测量中对1个像素进行时间标准偏差来证明）：0.15 nm
垂直分辨率（定义为精度的两倍）：0.30 nm
重复性（通过在SiC参考镜上进行30次重复性测量的一sigma Rq值来证明）：0.01 nm
垂直测量范围（无任何扫描）：连续结构可达200μm
带锐边台阶的高度（取决于激光源和工作波长）：max. 333 nm
产品参数
津公网安备12010102000950号