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产品介绍
ResMap Model 178已成为成本效益电阻率测量的行业标准。该四点探针旨在满足工艺开发和工具表征工程师的需求，具有所需的准确性、可重复性和可靠性。其庞大的安装基础证明了其性能、易用性和低拥有成本。
CDE的成立旨在为半导体及相关行业开发和制造高性能、高性价比的晶圆计量工具。CDE ResMap是一系列适用于各种应用的自动电阻率测绘系统。4点探针测量工具是一种仪器，用于测量导电介质（通常是半导体应用的薄膜）中的薄层电阻（或Rs）。
性能特点
- 准确性
- 可重复性
- 可靠性
技术参数
- 晶片处理：手动装载
- 晶圆尺寸：2英寸至8英寸
- 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
- 典型测量时间：每个站点1秒
- max吞吐量：每片晶圆1分钟（49个站点）
- 测量范围：2米Ω/-5米Ω/（可以优化到1米Ω/）
- 重复性（1σ，典型）：≤±0.02%（静态或Rs-pack）；≤±0.1%（动态近点）
- 精度：使用NIST traceableResCal标准≤±0.5%
- min边缘排除：1.5mm（探头中心到薄膜边缘）
- 交流电源：100V至240V<10 KVA
- 产地：美国
产品参数
津公网安备12010102000950号