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产品介绍
GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台，具备高功能扩展性的机型。通过搭载新型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术，可以在提高生产率的同时，减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可变光谱技术、高可达90W的高输出功率，满足客户的多样化需求。
性能特点
模块寿命延长技术
降低维护频率
提高生产率
减轻环境负荷
可选功能与配件
可以搭载GT65A可使用的功能和技术
技术参数
产地：日本
发射波长：193 nm
平均输出功率：45 – 90 W
脉冲能量：11.25 – 15 mJ
发射频率：4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度（以 95 %能量累计，E95,）：≤0.5 pm
数据采集：监控的方式
输出方式：晶圆输出
光谱带宽：可变化
光谱宽度：稳定
产品应用
半导体工业
产品参数
津公网安备12010102000950号