8-0240无间隙运行确保高运动精度 +0.5 μm 或更高的所有方向的双向重复性有效值;校准精度高达 +1.5 μm 或更高,整个可用行程范围;保证了低角度偏差(低至 +20 μrad)和 +25 μrad 或更好的正交性;超过 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度带来了高产量和生产率;带有可调气动重量补偿装置的直接驱动垂直轴,适用于不确定的刀具重量,确保了多功能性;所有 XYZ 模块中都集成了无铁电机,确保了高动态范围和动态稳定性;直接安装在负载上的增量反馈系统可实现无间隙伺服控制和即时动态响应;提供Abs编码器选项,防止系统归位运行;新型的实际龙门控制算法可确保稳定性和低动态误差;灵活的模块化设计可满足广泛的应用要求、适合半导体制造或计量、钻孔、激光烧蚀等应用;机构复杂度低,可在不同行程范围内快速扩展类似系统。
定位范围 XY - 1000 x 1300 mm,Y - 90 mm
+0. 5 μm 或更好的双向重复性 RMS
+1.5 μum 或更好的校准Abs精度
速度 1000 m/s,加速度 15 000 mm/s2
灵活的模块化设计可根据任何要求进行定制
可定制系统尺寸和行程范围
产地:立陶宛
编码器类型:光栅
编码器型号:LEN1
编码器分辨率(nm):低至 0.3
编码器接口:1 Vpp 或 Dierential RS422
内部乘法器:是
乘法器:x 65536
编码器光栅周期(μm):20
参考标记(指数):是
Abs精度(校正后):±1.5;±1.5;±0.5 μm
双轴重复性 (RMS):±0.5;±0.5;±0.1 μm
俯仰角:±15/±3.1;±42/±8.66;±551 ±11.34
偏航,拉德/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±55/±11.34
滚动,垂距/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±551 ±11.34
Max Vloit(无负荷,4 个电机),mm/s:1000
Max Acleaton (空载,4 个电机),mm/s2:10000
限位开关类型:霍尔传感器
限位开关电压:5至24 V
线性平台总尺寸(宽 x 长 x 高):2300 x 1690 x 912 mm
移动平台尺寸(宽 x 长):295 x 130 mm
测量系统:公制/英制
光度,μurad/arcsec:48.48/10
航空、海洋、地质勘探、测绘等
半导体制造或计量、钻孔、激光烧蚀等应用