VT750是用于生产、质量检验和计量实验室环境的干涉仪塔。此外,还提供“tower only”版本“B”,用于集成现有或第三方干涉仪单元,或配备ZYGO Verifire和ZYGO MX条纹分析软件的版本“Z”。该系统可以配备PC桌、2个屏幕、鼠标和键盘,也可以配备内置PC和触摸面板,以优化操作并更大限度地减少生产环境中的空间需求。
VT750 ST:配备XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),带10倍光学变焦和静态条纹分析系统XONOX“X-fringe ST”
VT750 PS2:配备XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),带10倍光学变焦,相移条纹分析系统XONOX“X-frige²”和压电移相器XONOX”X-phase PMR“
VT750 Z:带ZYGO Verifire 4“或6”干涉仪单元和Mx相移条纹分析
VT750 B:用于集成现有干涉仪单元的“tower only”版本。
可选配XONOX条纹分析系统X-fringe²ST或带X相PMR移相器的X-fridge²PS。
产地:美国
行程范围:max.750mm(800mm线性刻度范围)
测试直径:max.200mm(取决于使用的TS和零件支架)
测量系统:带PC接口和温度扩展补偿功能的增量高精度线性测量系统(标准)/可选激光放电测量系统(可选)
测量精度:20°C时每500mm高达+/-0.7μm
分辨率:高达0.1µm(标准0.5µm)
尺寸(宽x深x高):800 x 900 x 2100 mm
(如果使用PC进行条纹分析,则需要额外的空间,XONOX PC台可选)
连接:10-240V/50-60Hz
压缩空气:6bar
重量:约500kg
颜色:浅灰色RAL 7035
专注领域研究 产品供应
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