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Xonox干涉仪系统VT750

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  • 品牌名称:Xonox
  • 规格型号:VT750
产品介绍

VT750是用于生产、质量检验和计量实验室环境的干涉仪塔。此外,还提供“tower only”版本“B”,用于集成现有或第三方干涉仪单元,或配备ZYGO Verifire和ZYGO MX条纹分析软件的版本“Z”。该系统可以配备PC桌、2个屏幕、鼠标和键盘,也可以配备内置PC和触摸面板,以优化操作并更大限度地减少生产环境中的空间需求。

性能特点
  • 天然花岗岩柱具有非常平坦和准确的导向表面,便于使用,可以非常准确地测量光学元件的曲率半径
  • 高精度和准确的线性标尺,具有高的分辨率,直接与条纹分析软件连接
  • 测量台在空气轴承滑块上平衡和导向,便于快速、简单、准确地设置和移动
  • 占地面积小,价值非凡,结合高精度和刚性,免维护设计
  • 坚固的减振系统,非常适合工业生产环境
  • XONOX X-fiz 100(4英寸)或X-fiz 130(5.2英寸)高性能斐索干涉仪,可电子控制光学变焦(1x至10x)、聚焦和对比度
  • 创新、强大、用户友好的条纹分析系统X-fringe²,具有不同的智能和智能模式,可适应各种应用
  • 从具有静态条纹分析的低成本“ST”版本到高性能“PS2”相移版本进行选择
选型指南

VT750 ST:配备XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),带10倍光学变焦和静态条纹分析系统XONOX“X-fringe ST”

VT750 PS2:配备XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),带10倍光学变焦,相移条纹分析系统XONOX“X-frige²”和压电移相器XONOX”X-phase PMR“

VT750 Z:带ZYGO Verifire 4“或6”干涉仪单元和Mx相移条纹分析

VT750 B:用于集成现有干涉仪单元的“tower only”版本。

可选功能与配件

可选配XONOX条纹分析系统X-fringe²ST或带X相PMR移相器的X-fridge²PS。

技术参数

产地:美国

行程范围:max.750mm(800mm线性刻度范围)

测试直径:max.200mm(取决于使用的TS和零件支架)

测量系统:带PC接口和温度扩展补偿功能的增量高精度线性测量系统(标准)/可选激光放电测量系统(可选)

测量精度:20°C时每500mm高达+/-0.7μm

分辨率:高达0.1µm(标准0.5µm)

尺寸(宽x深x高):800 x 900 x 2100 mm

(如果使用PC进行条纹分析,则需要额外的空间,XONOX PC台可选)

连接:10-240V/50-60Hz

压缩空气:6bar

重量:约500kg

颜色:浅灰色RAL 7035

产品参数

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