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产品介绍
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
性能特点
- 真空室尺寸：Φ600-1800mm
- 60点/80点式光学膜厚监控
- 使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
- 搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
- 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
- 工件架可选择钟罩式或行星式
- 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
技术参数
产地：日本
真空室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架：φ 790mm
工件架转速：10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围350nm到1100nm
反射式/透射式可选
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：电子枪2套
离子源：10cm RF 离子源
排气系统：机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）
达到压力：7.0 × 10-5 Pa 以下
基板温度：350℃
设备尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源：3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量：80升/分以上
空气压力：0.5MPa 以上
重量：约5400kg
产品参数
津公网安备12010102000950号