Preciseley MEMS 倾斜镜设计为准静态模式,在开环运行时具有良好的稳定性和可重复性,无需额外的反馈。通过超低电流模拟电压输入进行控制。
产地:加拿大
镜面直径:Ø0.82, Ø1.0, Ø1.2,Ø1.5, Ø3.5 mm
镜面平整度:0.8...5 m
反射率(铝或金反射器):96...99 %
功率处理:max.500 mW
损坏电压:min.70 V
启动电压:max.60 V
倾斜角度:max.+/- 7.5°(X),max.+/- 7.5°(Y)
谐振频率:1300...2100Hz(X),1100...2100Hz(Y)
响应时间:max.1 ms
温度稳定性:0.001°C
耐久性(气密密封):10^9
工作温度:-5...+75°C
存储温度范围:-40...85°C
烘烤温度:max.110°C
焊线温度:max.150°C