ELIONIX自1975年创立以来，一直以制作对科学技术进步做出贡献的装置为目标，向世界送出了技术的研究开发用装置。1997年，电子束描绘装置开发出了能描绘当时高规格为1/5的线宽10nm的高精细电子束描绘装置，之后也相继开发了世界高性能的装置。以两个CS“挑战与速度”“客户满意度”为基本理念，一直在进行领头于其他公司的装置开发。研究开发用装置也被日本国内及世界的大学·公共机关等导入，受到着高水平的评价，不过，今后也致力于从研究开发面向事业化的生产用装置的开发·销售。我们今后也将作为世界各地的各位解决课题的合作伙伴，以提供高性能的装置、满足世界品牌的企业为目标。
ELIONIX主要产品：
电子束光刻系统、离子刻蚀机、电子线3D粗糙度分析仪、纳米压痕仪
ELIONIX主要型号：
EIS-200ERP、ELS-BODEN、ELS-BODEN Σ、ELS-HAYATE、EIS-220P、EIS-1500、ERA-9200、ERA-nanoR、ERA-600SP、ERA-600H2、ERA-600Series
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