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产品介绍
ELS-HAYATE能够在数小时内制造出完整的8英寸晶圆尺寸的压印模具。ELS-HAYATE非常适合需要高吞吐量和超细图案分辨率的大型制造写入场。
性能特点
- 可实现字段大小5mm的统一绘制
- 实现了业界的5毫米偏转。因为可以统一绘制的区域变大，因此它非常适合在意字段间连接误差的应用程序。此外，由于样品表面内的载物台移动次数也减少，高吞吐量的微细加工也能起到作用。
- 采用大电流电子光学系统
- 配备高电流电子光学系统，可以实现超出电子束光刻常识的高通量微制造。以前通过激光光刻或光刻产生的微米到毫米量级的图案，现在可以高质量曝光。
- 400MHz生产用高速扫描时钟
- 当在高电流下进行光刻时，须将光斑间距设置得较宽，以平衡小剂量时间和良好剂量。
技术参数
- 产地：日本
- 加速电压：50 kV
- 束流：1 nA～800 nA
- 最小光束直径：D 10 nm
- 标准场尺寸：5000μm
- 最小/最大字段大小：
- 最小1000μm
- 最大5000μm
- 扫描时钟：最大400MHz
- 最小发射间距：最小1.0nm
- 最大样品尺寸：8“晶圆/12”晶圆
- 最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
- 加载机制：
- 单台自动装载机
- 多功能自动装载机
- 机器人装载机
产品参数
津公网安备12010102000950号