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产品介绍
XENOS XeMove载物台使用先进的激光测量系统和超声波压电驱动技术，结合我们的光刻系统（测量分辨率为10nm），可获得优于100nm的缝合和覆盖精度。
XeMove：电子束光刻平台
紧凑的设计允许用作子阶段或更换阶段，只需要电气室馈通。所有组件都是高真空兼容且完全非铁磁的。紧凑的设计包括激光测量系统和压电驱动部件。轴上测量将偏航误差的影响降至更低。行程范围从55毫米到120毫米不等。
性能特点
- 集成到现有系统中不需要复杂且昂贵的腔室修改。
- 测量系统不需要激光视口，载物台电机不需要机械馈通，所有有源部件都放置在真空室内，并通过标准电气馈通进行电子控制。
- 对于某些腔室设计（例如JEOL JSM-7xxx），载物台可以通过负载锁插入，并通过腔室内的特殊电ZIF触点连接。
- 当平台停止时，驱动电机断电，位置被机械锁定，从而将总功耗降至更低，防止加热和相关漂移。
技术参数
产地：美国
类型：电子束光刻平台
测量分辨率：10nm
行程范围：55mm到120mm
缝合精度：优于100nm
覆盖精度：优于100nm
激光视口：不需要
机械馈通：不需要
触点连接：ZIF
兼容：高真空
组件：非铁磁
部件驱动：压电
产品参数
津公网安备12010102000950号